半导体废气处理介绍

半导体制造工艺业需要多种特殊气体，大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体等，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用，产生的废气通过排风系统收集并处理，如果没有经过很好的处理就进行排放的话，不仅影响人的身体健康还恶化大气环境。